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產(chǎn)品簡介

噴淋式顯影機(jī)（WH-PXY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，針對光刻工藝中的顯影過程而設(shè)計(jì)開發(fā)的，可以對5英寸以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動化顯影。該設(shè)備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。

技術(shù)參數(shù)

2轉(zhuǎn)速：0～400RPM；

2液量控制：10～500mL；

2適配硅片/芯片：3寸、4寸、5寸；

2顯影時(shí)間：0～900s；

2進(jìn)液速度：0～99%；

2電源輸入：AC220V±10V/50HZ；

2功率：100W；

2重量：20 kg；

2外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；

2工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %；

特征圖解

特征圖解1

特征圖解2

備注：如需了解產(chǎn)品價(jià)格及其他技術(shù)內(nèi)容可咨詢我司客服！